标准号：ISO 16700-2004
实施状态：作废
中文名称：微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
英文名称：Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification
发布日期：2004-03
被替代标准：ISO 16700-2016
代替标准：ISO/DIS 16700-2002
采用标准：BS ISO 16700-2004,IDT;NF X21-005-2006,IDT;X21-005PR,IDT;JIS K 0149-1-2008,MOD
起草单位：ISO/TC 202
标准简介：This International Standard specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. This International Standard does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.
文件格式：PDF
文件大小：605.68KB
文件页数：24
（以上信息更新时间为：2019-11-22）
ISO 16700-2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南.pdf
(605.68 KB)
|
|
