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GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法
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[国家标准]
GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法
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2020-6-17 01:31
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标准号:
GB/T 5252-2020
实施状态:
未实施
中文名称:
锗单晶位错密度的测试方法
英文名称:
Test method for dislocation density of monocrystal germanium
发布日期:
2020-06-02
实施日期:
2021-05-01
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位:
国家标准化管理委员会
文件格式:
PDF
文件大小:
4.46MB
文件页数:
9
(以上信息更新时间为:2020-06-17)
标准全文下载:
GB_T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法.pdf
(4.46 MB)
2020-6-17 01:31 上传
点击文件名下载附件
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