[国家标准] GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法

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查看3773 | 回复4 | 2020-6-17 01:31 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 5252-2020
实施状态:未实施
中文名称:锗单晶位错密度的测试方法
英文名称:Test method for dislocation density of monocrystal germanium
发布日期:2020-06-02
实施日期:2021-05-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:4.46MB
文件页数:9
(以上信息更新时间为:2020-06-17)

标准全文下载:
GB_T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法.pdf (4.46 MB)

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