[有色冶金] YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法

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查看4958 | 回复2 | 2020-7-18 11:10:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:YS/T 1301-2019
实施状态:现行
中文名称:氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定  气相色谱质谱联用法
英文名称:Determination of phosphorus oxychloride,phosphorus trichloride in chlorosilanes-Gas chromatography-mass spectrometry method
发布日期:2019-08-02
实施日期:2020-01-01
引用标准:GB/T 4844;GB/T 4946;GB/T 33336-2016
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
标准简介:本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为0.3 μg/kg~100 μg/kg,三氯化磷的测定范围为3 μg/kg~100 μg/kg。
文件格式:PDF
文件大小:388.71KB
文件页数:7
(以上信息更新时间为:2020-07-28)

标准全文下载:
YS_T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法.pdf (388.71 KB)
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疚遏 | 2020-7-31 08:03:53 | 显示全部楼层
非常好 谢谢分享
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chien581201 | 2020-10-2 00:51:55 | 显示全部楼层
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