YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定气相色谱质谱联用法

显示全部楼层 · 2020-7-18 11:10

标准号：YS/T 1301-2019
实施状态：现行
中文名称：氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定气相色谱质谱联用法
英文名称：Determination of phosphorus oxychloride，phosphorus trichloride in chlorosilanes-Gas chromatography-mass spectrometry method
发布日期：2019-08-02
实施日期：2020-01-01
引用标准：GB/T 4844;GB/T 4946;GB/T 33336-2016
提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
标准简介：本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为0.3 μg/kg～100 μg/kg，三氯化磷的测定范围为3 μg/kg～100 μg/kg。
文件格式：PDF
文件大小：388.71KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2020-07-28）

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YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法

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