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[国家标准] GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法

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5 | 2020-8-4 08:21 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准号：GB/T 38976-2020
实施状态：未实施
中文名称：硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法
英文名称：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
发布日期：2020-07-21
实施日期：2021-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：452.15KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2020-08-04）

标准全文下载：

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含量, 材料, 气体

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