[有色冶金] YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

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查看2328 | 回复1 | 2021-5-20 16:06:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口),砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

标准编号:YS/T 26-2016
中文名称:硅片边缘轮廓检验方法
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
代替标准:YS/T 26-1992
全文页数:10


标准全文下载:
YS_T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法.pdf (564.5 KB)
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撒郎嘿韩晴 | 2021-5-21 01:56:41 | 显示全部楼层
好资料,谢谢楼主分享
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