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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
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2021-5-20 16:06
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本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口),砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
标准编号:YS/T 26-2016
中文名称:硅片边缘轮廓检验方法
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
代替标准:YS/T 26-1992
全文页数:10
标准全文下载:
YS_T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法.pdf
(564.5 KB)
2021-5-20 16:06 上传
点击文件名下载附件
文档封面截图如下:
轮廓
,
边缘
,
方法
,
检验
,
硅片
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