[国家标准] GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

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查看6326 | 回复1 | 2021-7-14 13:42:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准编号:GB/T 40109-2021
中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
英文名称:Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
发布日期:2021-05-21
实施日期:2021-12-01
采用标准:ISO 17560-2014
全文页数:13


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ftp233 | 2021-7-14 13:43:51 | 显示全部楼层
好资料,谢谢楼主分享
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