[国家标准] GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染

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标准编号:GB/T 40110-2021
中文名称:表面化学分析  全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
英文名称:Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
发布日期:2021-05-21
实施日期:2021-12-01
采用标准:IDT;ISO 14706- 2014
全文页数:25


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GB_T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染.pdf (1.81 MB)
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