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ISO 14644-1-2015 洁净室和相关受控环境 第1部分：根据粒子浓度划分空气洁净度等级

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查看6096 | 回复66 | 2021-10-8 10:53 | 显示全部楼层 |阅读模式
ISO 14644-1-2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration




ISO14644-1-2015.pdf (555.19 KB)
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