标准编号:GB/T 25915.2-2021
中文名称:洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
发布日期:2021-08-20
实施日期:2022-03-01
代替标准:GB/T 25915.2-2010
采用标准:IDT,ISO 14644-2-2015
全文页数:18
标准全文下载:
GB_T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测.pdf
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