[国家标准] GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级

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标准编号:GB/T 25915.10-2021
中文名称:洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
发布日期:2021-08-20
实施日期:2022-03-01
采用标准:ISO 14644-10-2013
全文页数:30


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GB_T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf (6.99 MB)

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