[国家标准] GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼

[复制链接]
查看560 | 回复0 | 2021-11-25 18:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 17874-2021
中文名称:电子特气  三氯化硼
英文名称:Electronic specialty gas—Boron trichloride
发布日期:2021-10-11
实施日期:2022-05-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:746.35KB
文件页数:11


标准全文下载(高清):
GB_T 17874-2021 电子特气 三氯化硼.pdf (746.35 KB)
回复

使用道具 举报