[国家标准] GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

[复制链接]
查看5691 | 回复0 | 2021-11-26 02:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 40577-2021
中文名称:集成电路制造设备术语
英文名称:Terminology for integrated circuit(IC)manufacturing equipment
发布日期:2021-10-11
实施日期:2022-05-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:3.43MB
文件页数:56


标准全文下载(高清):
GB_T 40577-2021 集成电路制造设备术语.pdf (3.43 MB)
回复

使用道具 举报