[国家标准] GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

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查看8764 | 回复1 | 2021-11-26 02:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 21287-2021
中文名称:电子特气 三氟化氮
英文名称:Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
发布日期:2021-10-11
实施日期:2022-05-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:836.73KB
文件页数:12


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