标准号:GB/T 40868-2021
中文名称:纳米尺度科研生产受控环境规划与设计
英文名称:Planning and design of controlled environments for research and production at the nanometer scale
发布日期:2021-10-11
实施日期:2022-05-01
归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会纳米受控环境分会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:2.52MB
文件页数:18