[国家标准] GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准

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查看7781 | 回复5 | 2022-8-17 10:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为2eV,配有情性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。

标准编号:GB/T 29732-2021
中文名称:表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
英文名称:Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
发布日期:2021-12-31
实施日期:2022-07-01
代替标准:GB/T 29732-2013
采用标准:IDT,ISO 17973-2016
引用标准:ISO 18115
提出单位:全国微束分析标准化技术委员会
全文页数:14


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GB_T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准.pdf (936.23 KB)

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