标准编号：GB/T 42106-2022
中文名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
英文名称：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
引用标准：GB/T 6682
提出单位：中国科学院
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