本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。本文件不适用于：根据微生物污染评估适用性；对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试；设备和材料的可清洁性；设备设计及材料选择的要求；材料的静电、热学等物理性能；具体工艺场合设备性能的优化；测试统计方法的选用；当地安全法规的条款和要求。
标准编号：GB/T 25915.14-2022
中文名称：洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
采用标准：IDT,ISO 14644-14-2016
引用标准：GB/T 25915.1-2021
提出单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
全文页数：23
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GB_T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf
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