YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

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1 | 2023-7-14 08:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。

标准编号：YS/T 1392-2020
中文名称：氯硅烷组分含量的测定气相色谱法
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
全文页数：9

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气相色谱, 测定

YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

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