本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求，提供了指南。本文件不适用于以下内容：健康和安全要求；清洁剂及清洁技术的相容性；清洁性；生物污染；工艺和产品对设备和材料的特定要求；设备的设计细节。
标准编号：GB/T 25915.15-2022
中文名称：洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
采用标准：IDT,ISO 14644-15-2017
引用标准：GB/T 25915.8-2021
提出单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
全文页数：23
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GB_T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性.pdf
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