标准编号：GB/T 42263-2022
中文名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
英文名称：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
引用标准：GB/T 14264;GB/T 22461;GB/T 32267
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
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