HG/T 5895-2022 工业用混合气体硅烷/氮气

显示全部楼层 · 2023-7-29 07:27

本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法，确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。

标准编号：HG/T 5895-2022
中文名称：工业用混合气体硅烷/氮气
英文名称：Mixed gas used for industry—Silane in nitrogen
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-04-01
引用标准：GB 190;GB/T 4844;GB/T 5099(所有部分);GB/T 5275.7;GB/T 5832.1;GB/T 6285;GB/T 7144;GB/T 8979;GB/T 11640;GB/T 14850;GB 15258;GB/T 15383;GB/T 15909;GB/T 16804;GB/T 28726;GB/T 34525;GB/T 34526;GB/T 34710.1;GB/T 34710.2;GB/T 34710.3;GB/T 38523;GB/T 38527;GB 50646;TSG 23;ISO 19230
提出单位：中国石油和化学工业联合会
全文页数：13

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