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[国家标准]
GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语
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2023-11-15 18:33
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本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
标准编号:GB/T 26111-2023
中文名称:微机电系统(MEMS)技术 术语
英文名称:Micro-electromechanical system technology—Terms
发布日期:2023-05-23
实施日期:2023-09-01
代替标准:GB/T 26111-2010
采用标准:MOD,IEC 62047-1-2016
提出单位:全国微机电技术标准化技术委员会
全文页数:38
标准全文下载:
GB_T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf
(3.25 MB)
2023-11-15 18:33 上传
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文档封面截图如下:
微机电
,
术语
,
机电
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