DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法

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标准号：DB35/T 1146-2011
中文名称：硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法
适用地区：福建省
行业分类：科学研究和技术服务业
发布日期：2011-04-10
实施日期：2011-07-10
归口单位：中国科学院福建物质结构研究所
起草单位：中国科学院福建物质结构研究所
发布单位：福建省质量技术监督局
标准简介：本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（G D M S )所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、N a、M g、A 1、P、K、T h、U等元素的测定
文件格式：PDF
文件大小：285.11KB
文件页数：12

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