标准号：JB/T 10439-2004
实施状态：已作废
中文名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
英文名称：Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by czochralski method
组织分类：JB
中标分类：K61
ICS分类：25.180.10
标准分类：QT
发布日期：2004-03-12
实施日期：2004-08-01
作废日期：2017-05-12
归口单位：全国工业电热设备标准化技术委员会
起草单位：西安理工大学晶体生长设备研究所
范围：本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉(以下简称单晶炉)的各项要求,包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
文件格式：PDF
文件大小：618.41KB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-04-22）
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JB_T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉.pdf
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