标准号：SJ/T 11275-2002
实施状态：现行
中文名称：卧式液相外延系统通用规范
英文名称：Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
组织分类：SJ
中标分类：L92
ICS分类：29.260
标准分类：QT
发布日期：2002-10-30
实施日期：2003-03-01
归口单位：中国电子技术标准化研究所(CESI)
起草单位：信息产业部电子第四十八研究所
范围：本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备,亦可参照执行。
文件格式：PDF
文件大小：532.26KB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-04-24）
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