标准号：GB/T 5226.33-2017
实施状态：现行
中文名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
英文名称：Electrical safety of machinery. Electrical equipment of machines. Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment
组织分类：GB
中标分类：J09
ICS分类：29.020
标准分类：CN
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
作废日期： - -
采用标准：IEC 60204-33-2009,IDT
归口单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会
起草单位：中微半导体设备(上海)有限公司
范围：GB/T 5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求。本部分所论及的设备是从机械电气设备的电源引人处开始的(见 5.1)本部分适用的电气设备或电气设备部件，其标称电压不超过1000Va.c.或1500Vd.c.，额定频率不超过200 Hz。对于更高的电压或频率，可能需要特殊的要求。本部分包括针对电气安全隐患的防护措施和针对非电气安全隐患的电气联锁保护电路，但不涵盖由其他标准或法规规定的对人身安全保护的所有要求(如化学品危险、机械危险、辐射危害)。每种类型的机械适应其特定要求以提供足够的安全。下列半导体制造设备的电气装置应提供附加和特殊技术要求: 1、使用、加工或生产易爆材料；2、在易燃易爆环境中使用；3、当生产或使用某种材料时有特殊风险；3、作为起重机械(包括在IEC 60204-32)。本部分不包括半导体设备的性能或功能特性规范。本部分不涉及对人类健康可能造成影响的源于半导体设备的排放(如电磁场，噪声)。本部分没有规定电磁兼容性(EMC)的要求。
文件格式：PDF
文件大小：7.09MB
文件页数：97
（以上信息更新时间为：2019-03-22）
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