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GB/T 34649-2017 磁控溅射用钌靶
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[国家标准]
GB/T 34649-2017 磁控溅射用钌靶
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2017-9-29 01:53
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标准号:GB/T 34649-2017
实施状态:现行
中文名称:磁控溅射用钌靶
英文名称:Magnetron sputtering ruthenium target
组织分类:GB
中标分类:H68
ICS分类:77.150.99
标准分类:CN
发布日期:2017-09-29
实施日期:2018-04-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:有研亿金新材料有限公司
范围:本标准规定了磁控溅射用钌靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钌靶(以下简称钌靶)。
文件格式:PDF
文件大小:493.45KB
文件页数:9
(以上信息更新时间为:2019-03-22)
标准全文下载:
GB_T 34649-2017 磁控溅射用钌靶.pdf
(493.45 KB)
2017-9-29 01:53 上传
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