标准号：GB/T 4060-2018
实施状态：未实施
中文名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
英文名称：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
组织分类：GB
中标分类：H17
ICS分类：77.040
标准分类：CN
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
代替标准：GB/T 4060-2007
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司
范围：本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01 X 10^(15)/cm^(-3)～5 X10^(15)/cm^(-3)
文件格式：PDF
文件大小：465.22KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-30）
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GB_T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf
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