标准号：YS/T 1124-2016
实施状态：现行
中文名称：磁性溅射靶材透磁率测试方法
英文名称：Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
组织分类：YS
中标分类：H21
ICS分类：77.120.99
标准分类：QT
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料有限公司
范围：本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
文件格式：PDF
文件大小：367.52KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-03-26）
标准全文下载：
YS_T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法.pdf
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