标准号：GB/T 31987-2015
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 锗烷
英文名称：Gas for electronic industry. Germane
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司
范围：本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式:GeH4。相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
文件格式：PDF
文件大小：424.40KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-29）
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GB_T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷.pdf
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