标准号：JB/T 12585-2016
实施状态：现行
中文名称：真空技术 磁悬浮分子泵
英文名称：Vacuum technology. Magnetic levitated turbomolecular pump
组织分类：JB
中标分类：J78
ICS分类：23.160
标准分类：QT
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京中科科仪股份有限公司
范围：本标准规定了磁悬浮分子泵的术语和定义,型式与基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存。本标准适用于其有前级泵的磁悬浮分子泵(以下简称磁浮泵)。
文件格式：PDF
文件大小：604.85KB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-03-28）
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