标准号：SJ/T 11493-2015
实施状态：现行
中文名称：硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
英文名称：Test method for measuring nitrogen concentration in silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
组织分类：SJ
中标分类：H82
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心
范围：本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。本标准适用于锑、砷、磷的掺杂浓度＜0.2%(1×1020at.cm-3)的单品样品,其中氮的浓度大于等于1×1014at.cm-3。
文件格式：PDF
文件大小：1.61MB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
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