标准号：SJ/T 11495-2015
实施状态：现行
中文名称：硅中间隙氧的转换因子指南
英文名称：Guide to conversion factors for interstitial oxygen in silicon
组织分类：SJ
中标分类：H82
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心
范围：本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南。本标准适用于在室温下测试电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量。
文件格式：PDF
文件大小：931.75KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
标准全文下载：
SJ_T 11495-2015 硅中间隙氧的转换因子指南.pdf
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