标准号：SJ/T 11496-2015
实施状态：现行
中文名称：红外吸收法测量砷化镓中硼含量
英文名称：Determination of boron concentration in gallium arsenide by infrared absorption
组织分类：SJ
中标分类：H83
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心
范围：本标准规定了在77K时,用红外吸收法来测定砷化镓(GaAs)中替位硼含量的方法。本标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm的半绝缘砷化镓单晶中替位硼含量的测试,测量硼含量的有效范围是从1xl0^16at·cm^-3到2x10^18at·cm^-3。
文件格式：PDF
文件大小：1.56MB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
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SJ_T 11496-2015 红外吸收法测量砷化镓中硼含量.pdf
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