标准号：SJ/T 11500-2015
实施状态：现行
中文名称：碳化硅单晶晶向的测试方法
英文名称：Test method for measuring crystallographic orientation of monocrystalline silicon carbide
组织分类：SJ
中标分类：H83
ICS分类：29.046
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
范围：本标准规定了利用X射线衍射定向法测定碳化硅单晶晶向的方法。本标准适用于晶型为6H和4H的碳化硅单晶的晶向测定。
文件格式：PDF
文件大小：1.05MB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
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