标准号：SJ/T 11502-2015
实施状态：现行
中文名称：碳化硅单晶抛光片规范
英文名称：Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
组织分类：SJ
中标分类：H83
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
范围：本规范规定了碳化硅单品抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于品型为6H和4H,单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
文件格式：PDF
文件大小：3.21MB
文件页数：20
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
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SJ_T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范.pdf
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