YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材

显示全部楼层 · 2015-5-2 02:56

标准号：YS/T 1024-2015
实施状态：现行
中文名称：溅射用钽靶材
英文名称：Tantalum sputtering targets
组织分类：YS
中标分类：H63
ICS分类：77.150.99
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：宁夏东方钽业股份有限公司
范围：本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)。
文件格式：PDF
文件大小：441.13KB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-03-31）

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[有色冶金] YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材

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