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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
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[有色冶金]
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
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2015-4-27 05:17
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标准号:YS/T 1053-2015
实施状态:现行
中文名称:电子薄膜用高纯钴靶材
英文名称:High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
组织分类:YS
中标分类:H62
ICS分类:77.150.70
标准分类:QT
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
作废日期: - -
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司
范围:本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
文件格式:PDF
文件大小:529.05KB
文件页数:12
(以上信息更新时间为:2019-03-31)
标准全文下载:
YS_T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材.pdf
(529.05 KB)
2015-4-27 05:17 上传
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靶材
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