标准号：YS/T 1060-2015
实施状态：现行
中文名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy. Gas chromatographic method
组织分类：YS
中标分类：H17
ICS分类：77.040.30
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：中锗科技有限公司
范围：本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氧二氢硅、四氧化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。
文件格式：PDF
文件大小：310.86KB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
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