标准号：YS/T 14-2015
实施状态：现行
中文名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
英文名称：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
组织分类：YS
中标分类：H21
ICS分类：77.040
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
代替标准：YS/T 14-1991
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司
范围：本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小子100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm～100μm。
文件格式：PDF
文件大小：336.14KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
标准全文下载：
YS_T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法.pdf
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