GB_T 16595-1996 晶片通用网格规范.pdf

标准号：GB/T 16595-1996
实施状态：现行
中文名称：晶片通用网格规范
英文名称：Specification for a universal wafer grid
组织分类：GB
中标分类：H21
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
作废日期：2020-02-01
被替代标准：GB/T 16595-2019
采用标准：SEMI M17-1990,MOD
归口单位：中国有色金属工业总公司标准计量研究所
起草单位：中国有色金属工业总公司标准计量研究所
范围：本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网络图形。网络规定包含1 000个面积近似相等的网格单元,每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1%。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比,可定量其非均匀分布的表面缺陷。
文件格式：PDF
文件大小：204.27KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-05-03）

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