GB_T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法.pdf

标准号：GB/T 4298-1984
实施状态：已作废
中文名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
英文名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
组织分类：GB
中标分类：H17
ICS分类：29.040.30
标准分类：CN
发布日期：1984-03-28
实施日期：1985-03-01
作废日期：2017-12-15
归口单位：无
起草单位：有色金属研究总院
范围：本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。本标准包括杂质元素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氚子活化仪器分析方法。
文件格式：PDF
文件大小：766.41KB
文件页数：18
（以上信息更新时间为：2019-05-12）

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