GB_T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法.pdf

标准号：GB/T 34612-2017
实施状态：现行
中文名称：蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
英文名称：Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals
组织分类：GB
中标分类：H21
ICS分类：77.040
标准分类：CN
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：中国科学院上海光学精密机械研究所
范围：本标准规定了蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量方法。本标准适用于蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量。
文件格式：PDF
文件大小：397.43KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-22）

标准全文下载：