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GB_T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备.pdf

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上传时间: 2019-06-07
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GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备:

标准号：GB/T 37466-2019
实施状态：现行
中文名称：氮化镓激光剥离设备
英文名称：Laser lift-off equipment used for GaN
发布日期：2019-06-04
实施日期：2019-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：1.23MB
文件页数：17
（以上信息更新时间为：2020-01-09）

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