GB_T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf

标准号：GB/T 4059-2018
实施状态：现行
中文名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文名称：Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-11-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：686.59KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2020-01-10）

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