GB_T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法.pdf

标准号：GB/T 36705-2018
实施状态：未实施
中文名称：氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
英文名称：Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates. Raman spectrum method
组织分类：GB
中标分类：H21
ICS分类：77.040
标准分类：CN
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
范围：本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化稼衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化稼材料上生长的N型氮化稼衬底片载流子浓度的测试。测试范围:1×10＾(17)cm＾(-3)～1×10＾(20)cm＾(-3)。
文件格式：PDF
文件大小：440.14KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-30）

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