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GB_T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料.pdf

 

GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料:
标准号:GB/T 32652-2016
实施状态:现行
中文名称:多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
英文名称:Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon
组织分类:GB
中标分类:L90
ICS分类:31.030
标准分类:CN
发布日期:2016-04-25
实施日期:2016-11-01
作废日期:    -  -
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心
范围:本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。
文件格式:PDF
文件大小:290.36KB
文件页数:7
(以上信息更新时间为:2019-03-27)

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