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GB_T 21287-2021 电子特气三氟化氮.pdf

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GB/T 21287-2021 电子特气三氟化氮:

标准号：GB/T 21287-2021
中文名称：电子特气三氟化氮
英文名称：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：836.73KB
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