GB_T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法.pdf

标准号：GB/T 24581-2022
中文名称：硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
英文名称：Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method
发布日期：2022-03-09
实施日期：2022-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：837.44KB
文件页数：9


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