GB_T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法.pdf

本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法。本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.050 0 mg/g~0.600 mg/g。

标准编号：GB/T 42276-2022
中文名称：氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定  离子色谱法
英文名称：Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
引用标准：GB/T 602; GB/T 6682; GB/T 14666
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
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